CDM integrált vastagság- és területi sűrűségmérő

Alkalmazások

Bevonatolási folyamat: az elektróda apró jellemzőinek online detektálása; az elektróda gyakori apró jellemzői: ünnepi hiány (áramkollektor szivárgása nélkül, kis szürkeárnyalat-különbség a normál bevonatfelülettel, CCD-azonosítás hibája), karcolás, vékonyodó terület vastagságkontúrja, AT9 vastagságérzékelés stb.

Küldjön nekünk e-mailt

Termék részletei

Termékcímkék

A mérés alapelvei

A felületi sűrűségmérési alapelvek

Röntgen/β-sugár abszorpciós módszer

A vastagságmérés alapelvei

Korreláció és lézeres háromszögelés

CDM műszaki tesztelési jellemzők

1. forgatókönyv: Az elektróda felületén 2 mm széles holtpont/hiány található, és az egyik él vastagabb (kék vonal, ahogy az alább látható). Amikor a sugárfolt 40 mm, a mért eredeti adatalak (narancssárga vonal, ahogy az alább látható) hatása nyilvánvalóan kisebbnek tűnik.

2. forgatókönyv: dinamikusan elvékonyodó terület profiladatai 0,1 mm adatszélességgel

Szoftverfunkciók

Műszaki paraméterek

Név	Indexek
Letapogatási sebesség	0-18 m/perc
Mintavételi frekvencia	Felületi sűrűség: 200 kHz; vastagság: 50 kHz
Felületi sűrűségmérési tartomány	Felületi sűrűség: 10~1000 g/m²; vastagság: 0~3000 μm;
Mérésismétlés pontosság	Felületi sűrűség: 16 másodperces integrál: ±2σ: ≤±valódi érték * 0,2‰ vagy ±0,06 g/m²; ±3σ: ≤±valódi érték * 0,25‰ vagy +0,08 g/m²; 4s integrál: ±2σ: ≤±valódi érték * 0,4‰ vagy ±0,12 g/m²; ±3σ: ≤±valódi érték * 0,6‰ vagy ±0,18 g/m²;Vastagság: 10 mm-es zóna: ±3σ: ≤±0,3μm; 1 mm-es zóna: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1 mm-es zóna: ±3σ: ≤±0,8μm;
R2 korreláció	Felületi sűrűség >99%; vastagság >98%;
Lézerfolt	25*1400 μm
Sugárvédelmi osztály	GB 18871-2002 nemzeti biztonsági szabvány (sugárzásmentesség)
Radioaktív anyagok élettartama forrás	β-sugárzás: 10,7 év (Kr85 felezési idő); röntgen: > 5 év
A mérés válaszideje	Felületi sűrűség < 1 ms; vastagság < 0,1 ms;
Teljesítmény	<3 kW